一、項目背景
在高端芯片制造與醫療精密部件搬運場景中,對運輸環境的潔凈度、運動控制的精度要求嚴苛。傳統傳動機構(鏈條、皮帶、齒輪等 )運行易產生粉塵,污染芯片或醫療部件,且難以滿足微米級運動控制需求。磁懸浮多動子真空運輸線憑借無接觸傳動、低污染特性,成為理想方案,而高精度位置檢測是其穩定運行的關鍵。
二、應用方案
(一)設備構成
磁懸浮多動子真空運輸線包含磁懸浮軌道、多動子承載平臺(如圖所示,多個承載平臺并行布置 )、控制系統,以及核心位置檢測部件 —— 阿童木讀數頭 MH0 系列,每個動子對應配置讀數頭,實現位置信號獨立采集。
(二)讀數頭功能實現
阿童木讀數頭 MH0 系列安裝于多動子側面位置,利用電磁感應原理,實時捕捉動子在真空運輸線的位置信息。其抗干擾電路設計,適配真空環境下的電磁環境,穩定輸出高精度位置信號,傳輸至控制系統,為動子的啟停、速度調節、精準定位提供數據支撐。
三、應用優勢
(一)潔凈環境保障
磁懸浮系統無傳統機械傳動部件,從源頭上避免粉塵產生,阿童木讀數頭 MH0 系列采用密封設計,不引入額外污染,共同為高端芯片、醫療部件營造真空無塵運輸環境,降低因污染導致的產品報廢風險。
(二)高精度運動控制
MH0 系列讀數頭具備高分辨率,位置檢測精度達微米級,配合磁懸浮多動子系統,實現動子在真空運輸線的精準位移控制。在芯片晶圓搬運、醫療試劑精密傳輸等環節,確保部件放置、轉移誤差極小,提升生產良率與醫療設備組裝精度。
(三)系統兼容性與穩定性
讀數頭結構緊湊,適配磁懸浮多動子運輸線的狹小安裝空間。其耐環境特性(耐受真空、溫度波動等 ),保障長期穩定運行,與磁懸浮系統協同,支持多動子并行、獨立作業,提升運輸線整體效率,滿足高端制造與醫療場景的連續生產需求。
四、應用效果
在高端芯片制造環節,該運輸線配合阿童木讀數頭,實現芯片中間體搬運精度 ±2μm,粉塵污染導致的芯片不良率從原傳統方式的 3% 降至 0.5% 以內;醫療搬運場景中,試劑、精密組件運輸誤差控制在 ±1μm,助力醫療設備組裝良率提升至 99% ,驗證了阿童木讀數頭 MH0 系列在磁懸浮多動子真空運輸線的應用價值,為高端制造與醫療領域的精密搬運提供可靠技術方案。